磁懸浮渦輪分子泵TURBOVAC MAG W 700 iP

TURBOVAC MAG 磁懸浮分子泵

TURBOVAC MAG系列

TURBOVAC MAG系列耐腐蝕磁懸浮分子泵，適用于從10-1 mbar(0.75 x 10-1Torr)至10-10 mbar(0.75 x 10-10 Torr)的壓強范圍。對空氣的抽速從300 l x s-1(進氣口法蘭直徑 = 100mm(3.94in.))至3200 l x s-1(進氣口法蘭直徑 = 320mm(12.6in.))不等。

TURBOVAC MAG泵較常用于半導體工業(yè)，例如蝕刻、CVD、PVD和離子注入，也就是需要抽除腐蝕性氣體的應用條件。

TURBOVAC MAGiNTEGRA系列

TURBOVAC MAGiNTEGRA系列磁懸浮分子泵是集現(xiàn)代真空科技之大成的新產品！

它設計精良，性能優(yōu)異，可靠耐用是高真空應用的睿智選擇。新的主動定位五軸磁懸浮技術與萊寶真空專有抗沖擊設計相結合， 保證了TURBOVAC MAGiNTEGRA系列分子泵既保持了磁懸浮分子泵無磨損的優(yōu)勢又延續(xù)了萊寶分子泵耐沖擊的一貫特性。

TURBOVAC MAGiNTEGRA系列分子泵適合短節(jié)拍大氣載的應用，可幫助客戶縮短工藝節(jié)拍，提高工作效率。非常適合電子顯微鏡，玻璃鍍膜、工業(yè)和科研等應用。

TURBOVAC MAC產品線的優(yōu)勢是：

- 無碳氫化合物，可以實現(xiàn)清潔的高真空和超高真空條件；

- 任何安裝方向都具有高性能

- 運行高度可靠

- 振動極低

- 防腐蝕版可以抽除腐蝕性氣體

- 免維護

典型應用

- 氣體分析系統(tǒng)

- 粒子加速器

- 電子顯微鏡

- 科研

- 鍍膜設備

技術特點

- 任意方向安裝

- ISO-K或CF高真空接口

- DN 16 ISO-KF，帶卡簧式前級真空接口

- 保護氣/破空接口DN 16 ISO-KF（卡簧式接口）

- 可選擇水冷或風冷

- CE和RoHS認證：滿足UL要求

- 標準9針24 V SPS，PLC接口

- RS 232 C，維護接口

- 可以安裝其它接口:Profibus, RS 485 C

客戶得益

- 尺寸可能較小，抽速較高

- 免維護

- 適合用于分析儀器、薄膜技術、電子顯微鏡、科研領域對振動敏感的應用場合

- 由于采用模塊化設計具有靈活性；也可以提供臺式變頻器

- 兩個工業(yè)通信模塊卡接口

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